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该文采用了当前最为先进的微机械加工技术.利用牺牲层方法,结合半导体平面工艺,设计制出了一种具有栅型结构的惯性敏感电容.通过有......
基于硅微机械加工工艺,设计并制作一款W波段4路硅基波导功分/合成器。通过在8英寸的硅晶圆上采用干法刻蚀和晶圆级键合等工艺途径......
制作出一种新型结构的谐振式硅微加速度计,其输出频率信号可以克服微机电系统器件输出微弱信号检测的困难.采用双端固定音叉作为谐......
通过加热丝的电阻，将交流电能转换为热能，并与直流电能比较，这就是热电变换器的功能。热电变换器是交直流转换标准的关键部件之一。本......
根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1～ 10......
世界领先的硅微机械加工压力、加速度传感器制造商———美国ＥＧ＆ＧＩＣＳｅｎｓｏｒｓ日前宣布了一款新系列压力传感器，设计用于腐蚀性介质的压力测量。采用......
