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在航空航天等制造装配现场开展关键结构热变形监测,以获得结构在不同温度环境下的三维变形分布,从而为结构设计、装配加工提供指导......
近年来,我国科技飞速发展,在精密位移测量、工业自动化等领域对传感器提出了更多要求。相比于增量式传感器,绝对式传感器具有直接......
为了实现pF量级小电容的精密测量, 建立了基于激光锁定Fabry-Perot干涉仪的精密电容测量系统。对该系统所采用的计算电容原理、激......
超精密位移测量技术不仅是精密机械加工的基础，在以摩尔定律飞速发展的芯片制造行业中也起到决定性的作用。以光栅栅距为测量基准的......
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当前,制造业的迅猛发展得益于精密加工制造技术的支持,而精密位移测量技术及器件作为把控加工质量及反馈位置信息的关键部件得到了......
