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纳机电谐振器的应用十分广泛,有关其驱动检测和加工工艺及其随着特征尺寸进一步减小以至接近量子极限而进行的研究已成为该领域的......
石墨烯是一种由单层碳原子组成二维蜂巢状结构的新型碳质材料，具有高刚度和低密度的特性，是用于制作纳机电系统（NEMS）器件的理想材料。......
作为一种典型的纳机电器件,纳机电谐振器在传感器、加速度计、高频信号处理和通信等领域都有一定的应用。在纳机电器件加工工艺中......
