纳米位移测量相关论文
激光抗干扰性好、复用能力强，光纤F-P腔干涉仪结构简单、灵敏度高，适于纳米级位移测量。为了进一步提高分辨率，扩展测量范围，本文对光......
纳米位移测量技术是精密测量领域的重要组成部分,可以检测纳米级物质状态,评价纳米尺度,是纳米技术发展的基石,对纳米技术的应用有......
随着超精密、集成电路、MEMS等加工制造技术的深入发展,对位移测量技术带来了更大的挑战。而在众多的位移测量技术中,激光干涉位移......
随着芯片制造业的不断发展,在大范围内实现纳米精度的位移测量是提高当前芯片制造水平亟需解决的问题。在纳米测量领域中,激光干涉......
纳米级线宽的精确测量一直是纳米计量领域的重点和难点。集成电路的迅猛发展需要为线宽测量提供更高的精度。在众多显微镜当中,原......
纳米位移测量技术随着高端装备制造行业的发展越来越受到关注,在集成电路制作、机械加工零部件制造以及国防军工等多个领域都有着......
随着超精密加工等高新技术工业领域的进一步发展,其对有关设备的运行和定位精度提出了更高的要求,因此对微定位器的研究得到了越来......
随着精密加工、微电子等行业的快速发展，对高精度位移测量技术的需求越来越大，性能要求也越来越高。本文依托国家自然科学基金(NO.51......
近年来,随着微电子、超精密加工等高新技术的迅速发展,对纳米位移测量技术及仪器提出了既要测量范围大又要同时达到纳米级测量精度......
纳米技术的研究已经成为社会发展的必然趋势，而纳米测量技术在纳米技术中又占据了极其重要的位置，所以说纳米技术的发展离不开纳米测......
介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构，针对A／D误差和直流噪声引入的位移误差，提出了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法......
激光干涉测量技术因高测量精度、高测量分辨率和大测量范围的优点,在纳米位移测量领域有着日益广泛的应用,是推动微电子制造、超精......
随着精密制造的快速发展,微电子集成电路制造技术和超精密机械加工技术实现纳米级制造精度成为亟待解决的问题,因此高精度位移测量......
工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求.测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在......
21世纪是纳米科技的时代,全球各国都将纳米研究作为国家发展战略,纳米技术将带来社会和经济的巨大发展。纳米科技的研究需要借助各......
在生物制药、微电子、超精加工、航天科学、材料科学等众多领域，都需要纳米级的位移测量系统提供设备支持。光栅干涉位移测量技术作......
大范围高精度的纳米位移测量技术及仪器是支撑高端装备制造技术提升的一项基础关键技术。近年来,随着超精密加工、微电子制造等高......
本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的......
纳米测量学是纳米科学中的一个重要分支，是在纳米尺度发现新现象、创造新技术的基础。随着微电子技术、超精密加工技术等高新技术的......
