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脉冲真空电弧沉积相关论文
UBMS和PVAD法制备DLC薄膜表面微观形貌分析
光学薄膜的表面粗糙度是影响薄膜光学特性的重要因素,薄膜表面产生的散射损耗将影响薄膜的光学质量.采用非平衡磁控溅射(Unbalance Ma......
期刊
DLC薄膜
表面粗糙度
非平衡磁控溅射
脉冲真空电弧沉积
DLC film surface roughness UBMS PVAD
激光薄膜损伤特性研究
类金刚石(DLC)薄膜由于具有良好的力学、电学、热学和化学稳定性而被广泛地应用在机械、电子、航空、航天等领域。在光学方面,DLC是......
学位
类金刚石薄膜
光学薄膜
非平衡磁控溅射
脉冲真空电弧沉积
激光损伤阈值
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