莫尔信号相关论文
光栅莫尔信号的质量直接影响其细分效果。在实际的光栅测量系统中,由于加工工艺,机械安装等因素,产生的光栅莫尔信号中存在直流漂......
以莫尔条纹原理的光栅高精度测量技术,已在精密测量仪器、坐标测量机、高精度精密加工、高精度定位平台等领域得到广泛的应用。莫......
精密定位技术是荫罩式等离子显示器(SM-PDP)生产过程中的关键性基础性技术,是保证PDP良好成像效果的前提。本文主要研究利用激光莫......
通过对±1激光莫尔信号进行建模和仿真,研究其规律为精密定位提供依据。该文应用激光衍射理论研究了±1次莫尔信号的位移特性,根据......
应用光衍射理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统,建立了衍射莫尔信号与对应位移的数学模型,并通过计算机仿真对......
莫尔光栅的纳米级测量需要对莫尔信号进行高倍细分,而高倍细分的精度往往受到高斯白噪声的影响。将莫尔信号视为稳态模型进行去噪......
提出了一种新的超精密定位方法,该方法基于修正莫尔技术,以衍射光栅作为定位标记,可有效提高位置检测信号的灵敏度,且结构简单.建......
针对精密定位装置存在非线性，精确数学模型难于建立的缺陷，提出了精密定位的神经网络控制方法．将BP神经网络应用于该控制系统中，系统以......
针对光栅莫尔信号正弦性误差对细分结果造成影响问题,对基于粒子群算法(PSO)的光栅莫尔信号正弦性误差补偿方法展开研究。在量化分......
精密定位的高精度是精密定位技术研究的重要课题.文中在分析利用激光莫尔信号实现精密定位的基础上,提出了差动式、修正式两种精密......
为了满足压印光刻中套刻对准精度的要求，提出了一种基于光闸莫尔原理的粗精两步对准方法。设计了粗精两种对准标记，十字标记作为粗对......
针对荫罩式等离子体显示器屏板定位的特点，研究了基于计算机视觉的图像定位和基于衍射光栅的莫尔定位2种方法.利用这2种定位方法建......
针对精密平面定位影响因素多、控制复杂及定位困难等问题,提出了一种新的精密平面定位方法,该方法采用激光莫尔技术,以上下2组100 ......
设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位装置,该装置可实现高精度位置检测及X-Y-( 三自由度的全自动精密平面定位.激光莫尔信......
压印光刻中套刻需要粗、精两级对正．实验采用一对斜纹结构光栅作为对正标记．利用物镜组观察光栅标记图像的边界特征进行粗对正，其准确......
研制了一套基于激光莫尔信号的超精密定位工作台,定位台以微型计算机为核心,采用激光莫尔传感器检测位置偏差,通过光、机、电的有......
采用DSP数字滤波技术,对细分前的莫尔信号进行滤波处理.以提高莫尔信号的细分精度和实时性,利用DSP的乘加指令及循环寻址功能设计......
对光栅传感器输出的两个相差90°的莫尔信号,用内差法进行细分(倍频).使其在莫尔信号变化的一个周期内,输出10个均匀分布的计......
本文研究了双光栅衍射产生的莫尔信号的角位移特性,建立了精密角位移测量的数学模型,并进行了计算机仿真,用实验验证了激光莫尔信......
应用光学理论研究了透射式激光莫尔信号的位移特性，建立了衍射莫尔信号强度与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对莫尔信号的位移......
设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位系统。针对精密定位系统存在非线性难以建立精确控制模型的缺陷，将不基于模型的模糊控......
应用光学理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统，建立了衍射莫尔信号与对应位移的数学模型，进而设计了一种基于激光......
光栅传感器以高精度、高分辨力的显著优点在精密机床、集成制造等领域得到了广泛的应用,其测量精度受制于莫尔条纹信号的细分精度,......
介绍了基于差动光栅结构的激光莫尔精密定位原理，分析了该光栅结构在实际工程应用中的莫尔信号变化特点。从双光栅计量的基本数学模......
介绍了一种基于莫尔条纹信号的精密检测定位系统.系统以工业控制计算机为核心,采用差动莫尔技术,进行高精度检测及自动定位,具有抗......
精密角度定位技术是整合了机械、电子、光学及智能控制于一体的复合控制技术,广泛应用于精密角位移测量与控制场合,如集成电路中硅......
角度是重要的基本物理量,角度测量是计量技术的重要组成部分。圆光栅因高精度、高分辨率的优点一直以来都在角度计量领域被广泛应......
