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本文采用射频磁控溅射方法,分别在玻璃和具有本征氧化层的Si(100)基片上制备了Ge2Sb2Te5相变薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电镜(SEM)......
光学薄膜早已成为各种光学系统及精密仪器中不可或缺的组成部分。光波入射到光学薄膜时,光的强度,相位,偏振等一系列光学特性都会......