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蚀刻不均匀性相关论文

椭圆模型在密集线路制作中的应用

文章介绍了椭圆模型在密集线制作中的应用,包括线路补偿、铜层厚度、线宽控制。依据椭圆模型,我们如何进行密集线生产操作和控制,......

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酸蚀间距自动动态补偿线宽补偿量蚀刻不均匀性 Dense Line Copper Thickness Line Width Control

自动动态补偿功能改善酸蚀蚀刻不均匀性问题

在酸蚀制程中,由于其蚀铜量较大,蚀刻线生产时蚀刻速度较慢,导致蚀刻不均匀性对线路制作存在很大影响,为改善蚀刻不均匀性的问题,......

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