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表面光电压法相关论文

表面光电压法研究抛光硅片制造中铁沾污的来源

铁杂质是硅片制造过程中常见的重金属沾污，表面光电压(SPV)法可很好地用于测定P型硅中铁杂质。本文通过SPV法测试不同流程制造的P型......

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表面光电压法铁杂质抛光硅片半导体材料 surface photovoltage method(SPV) impurity of iron polishe

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