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正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于表面形貌测量时,需要帧速高于300 frame/s的图像传感器,同时要求调制信号频率与图像传感器帧速......
微小球体是微光学、微机械等领域中最常见的元器件形态之一,其表面微观形貌对于其多方面应用特性有着重要的影响。例如,直径介于几......
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由于使用传统的误差修正方法进行微球形貌检测会有过大的残差,本文提出了一种新的偏心误差修正方法来提高微球表面形貌检测的精度......
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纳米技术的最终目的是要在纳米尺度上制造出特定功能的产品。传统的加工理论已无法满足纳米量级加工的需要,纳米加工机理就成为需......
