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能源危机和环境污染是人类可持续发展面临的严峻问题，而太阳能电池作为光伏转换器件，能有效地解决这一难题。由于硅基薄膜太阳能电池......
多晶硅薄膜在薄膜太阳电池和薄膜晶体管等大面积电子学方面具有明确的应用前景。由于具有高速沉积、气体利用率高和易晶化等特点,......
概述了非晶硅薄膜的金属诱导晶化原理，介绍了Al，Ni两种金属诱导非晶硅薄膜晶化的一般规律，详细探讨了金属诱导条件下非晶硅薄膜的本质......
本文采用磁控溅射法,衬底温度500℃下在硅衬底上分别制备具有Ge填埋层的a-Si/Ge薄膜和a-Si薄膜,并进行后续退火,采用Raman光谱、X......
采用测控溅射,通过Ge诱导晶化法在Si衬底上制备多晶Si薄膜。采用Raman光谱、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及场发射扫描电镜(......
