负偏压温度稳定性相关硕士博士期刊学术论文

本文在对ISSG工艺特性简单分析的基础上讨论了ISSG氧化物薄膜的可靠性问题。讨论了ISSG工艺及其相关的氮化工艺对NBTI的改善原理。......