软刻蚀技术相关论文
阐述了一种在掺锆杂化薄膜上获得分布反馈结构的软刻蚀制备方法，该薄膜采用可紫外光交联的溶胶凝胶(sol-gel)法制得。采用全息双光......
制备具有微图形的材料基底来控制细胞的行为已经成为了生物医学工程领域的研究热点。多种细胞可以响应微米尺度,甚至于纳米尺度的......
随着MEMS（微机电系统）工艺的发展，微流体系统已经成为一个非常热门的研究领域，而无阀微泵作为微流体系统的核心动力元件也得到了越来越......
随着激光器向着固态化和小型化发展,基于分布反馈(Distributed-feedback,DFB)结构的固态染料激光介质在光学集成、实用化的方向上......
软刻蚀是通过表面带有图案的弹性模板来实现图案转移的图形复制技术,弹性印章是软刻蚀技术的核心。简单介绍了软刻蚀技术,使用SDS-......
有机聚合物材料是一类重要的光波导基础材料。与传统的半导体材料(如二氧化硅、磷化铟等)相比,它具有成本低、成膜性好、制备工艺......
使用通用电子束曝光机,采用一种新的电子束微三维加工的重复增量扫描方式进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的微三维结构,以此为制......
聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,以下简称PDMS)软模板在生物医药、物理化学等领域具有重要的应用价值。而PDMS软模板的制备......
