运动台相关论文
光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备，而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑。为了达到光刻机的各项......
在高世代光刻机运动扫描中,G6、G10运动台质量大,加速度大,电机输出力达上万牛,同时还要求扫描性能在纳米级别;永磁同步直线电机(......
作为硅片检测系统的运动定位载体,精密运动台是实现硅片检测的关键设备。随着硅片尺寸日趋扩大和特征尺寸的不断缩小,对精密运动台......
