金属微结构相关论文
电化学沉积是一种无接触、无热效应的微纳增材技术,在现代医学、半导体等高新科技领域有着广阔的应用前景。现有的电沉积技术存在......
增材制造技术由于其明显的技术优势被广泛应用在金属的加工成型上。不过,微尺度三维金属零部件的精密快速成型仍是增材制造领域的......
随着微机电系统技术的发展,面向微机电器件的金属微结构得到了越来越多的应用。金属微结构的制作方法有多种,其中掩膜电解加工方法......
微细加工在许多工业领域中有着重要而广阔的应用前景。金属电沉积是指利用电化学原理，在外接电场作用下，阳极与阴极通过电沉积液连成......
为解决金属微结构电铸制造用SU-8胶受热易溶胀的难题,在剖析热溶胀机理的基础上开展了实验研究,结合实验结果针对性提出尺寸补偿法......
一般金属材料的总体性质是各向同性,而对于特殊场合或领域所用的单晶金属、单晶合金等则是各向异性。通常认为,在微细电火花加工过......
提出了一种利用极间微细脉冲放电沉积实现金属材料微结构的增材制造方法。分析了该工艺方法的实现特点,确定了微细放电沉积加工的......
激光冲击压印技术通过高能量等离子体冲击波作用在金属靶材表面,诱导靶材发生可控的超高应变率成型,从而得到高精度微结构,该技术......
相位和偏振是光的两个重要属性。近年来,随着微加工技术的发展,基于孔、缝、凹槽和突起等金属微结构对光场的操控引起了人们的关注......
具有特定功能或满足特定需要的复杂形状金属micro／meso结构器件的加工，是非硅基MEMS制造和微细加工领域的一项重要内容。论述了制造......
表面等离激元结构色是一种由可见光与金属微纳结构相互作用而产生的颜色。为了分析不同金属微纳结构对可见光特性的调控特性,本文......
设计出一款集复合搅拌、精细过滤和自动控温等功能于一体,用于制作金属微结构的电铸装置。阐述了设计原理,并剖析了其结构组成。实......
三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一。现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结......
