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铬-铜-氮薄膜相关论文
离子束辅助磁控溅射沉积铬-铜-氮薄膜的结构与性能
应用低能离子束辅助磁控溅射(IBAMS)沉积铬-铜-氮薄膜,研究了铜含量和轰击能量对薄膜结构、硬度和断裂韧度的影响。结果表明:在相同的......
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离子束辅助磁控溅射
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