长程面形仪相关论文
同步辐射(SR)用光学元件必须采用很大的入射角以得到较高的反射率,从而使得这类光学元件一般均为横向较窄而轴向甚长的长条状。为......
衍射光栅已被广泛应用于同步辐射光源软X射线与真空紫外光栅单色器中,光栅线密度偏差会直接影响单色器的性能.为了检测光栅线密度......
分析了基于衍射准直技术的f-θ系统的特点,在此基础上提出了一种新型长程面形仪用以实现对大型非球面光学表面,特别是同步辐射中掠......
同步辐射光源是用于产生高性能同步辐射光的大型科学装置,光束线是其重要组成部分。光束线是衔接同步辐射源与实验站的重要桥梁,其......
长程面形仪是一种高精度、非接触的大型非球面光学检测仪器,作为同步辐射光束线工程的关键检测仪器,主要用于X射线波段大尺度、非......
总结了常用大型非球面光学元件轮廓检测方法及其特点。详细阐述了用于同步辐射光学元件检测的长程面形仪的基本原理、发展阶段、关......
研究了振动对新型长程面型仪（Long Trace Profiler,LTP）静态稳定性的影响。根据新型长程面形仪的光学结构建立模型，分析了LTP对环境振......
分析了温度梯度、空气扰动、振动以及漂移误差对长程面形仪测量精度的影响,设计了一种以双层铝合金材料为主体带夹层内水循环的封......
同步辐射装置正处于蓬勃发展的新阶段，为适应同步辐射应用的新要求，发展同步辐射光束线技术成为重要的工作内容。单色器是光束线的心......
