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阳极线性离子源相关论文
阳极线性离子源辅助磁控溅射沉积氮化钛薄膜的研究
采用阳极线性离子源辅助磁控溅射技术,通过改变氮气流量以及离子源功率,在低温(150℃)条件下以不锈钢为基体制备了氮化钛薄膜。采......
期刊
阳极线性离子源
磁控溅射
低温
氮化钛
结合强度
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