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目前,在微细加工技术中常使用的材料有单晶硅、金属和有机化合物等,但是这些材料加工所得到的微结构在某些高温、强腐蚀环境中却无......
研究了一种制作高精度、大高宽比高铝陶瓷微器件的工艺方法。首先利用同步辐射曝光,制作出带有微结构的PMMA模具。模压后,溶去模具......
分别用氨水、草酸铵、尿素和碳酸钠做沉淀剂合成了4种不同陶瓷微结构的ZnO气敏材料。用X射线衍射(XRD),透射电子显微镜(TEM)和电子......
