集成电路制造技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

集成电路制造技术相关论文

55纳米工艺节点中离子注入层的光学临近效应修正

集成电路制造技术中,传统的光学临近效应修正都是基于平坦化衬底的。针对离子注入层的包括有源区、浅槽隔离区和栅极的复杂结构,一......

学位

集成电路制造技术光学临近效应修正掩模版离子注入层复杂衬底

数控多线切割技术及发展趋势

数控多线切割技术实现了集成电路制造技术的跨越式发展，已成为数控机床制造技术及集成电路制造技术的重要标志，引起了发达国家的广泛......

期刊

多线切割半导体加工集成电路制造技术数控机床张力控制

看过本文同时还关注