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静电力结构耦合相关论文

静电力驱动MOEMS可调谐滤波器的数值分析

分析了基于微光机电系统的可调谐滤波器在静电力驱动下的一些特性.介绍了一种自适应算法来解决静电力和结构的耦合问题,用这种算法......

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