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微执行器作为微机械系统的核心部分，它可用于提供微机械系统所需动力，也可成为微机械系统的操作和执行单元。其中，静电微执行器是微执......
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微机电系统是一项革命性的高新技术产业,在军事领域、航空航天、生物医学等领域都具有潜在应用,倍受各国政府和专家的高度重视。微......
在MEMS静电执行器设计中,由于吸合效应的存在,导致微执行器调节范围受到限制。首先,对微执行器吸合效应产生的原因及其影响进行了......
