非晶硅锗薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非晶硅锗薄膜相关论文

非晶硅锗薄膜太阳能电池研究

介绍了薄膜电池的制备技术及发展进程.采用射频等离子体加强气相沉积法(PECVD),制备了非晶锗硅薄膜,提出了制备优质非晶锗硅薄膜的......

期刊

非晶半导体非晶硅锗薄膜太阳能电池

基于非制冷微测辐射热计的非晶硅锗薄膜电学特性研究

采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了应用于微测辐射热计的非晶硅锗薄膜(a-SixGey),并研究了不同反应气体流量比GeH4/S......

期刊

非晶硅锗薄膜 PECVD 电阻温度系数电导率微测辐射热计

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