高真空环境相关论文
设计出与扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)相结合工作的原位原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)系统将......
本研究针对类金刚石碳(DLC)膜摩擦学性能在高真空环境中表现差的问题,通过等离子体增强化学气相沉积与磁控溅射相结合的方法制备了......