0-3复合法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

0-3复合法相关论文

高取向PZT厚膜的0-3复合法制备

采用0-3复合法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了单层厚度0.9μm,总厚度10μm,并且无裂纹的Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3铁电薄膜.溶液中粉......

期刊

铁电材料 PZT厚膜 0-3复合法 Sol—Gel法微机电系统溶胶-凝胶法

MEMS器件用PZT薄膜的制备及性能研究

由于电子技术、信息技术和控制技术的发展,器件的小型化和集成化,对材料提出了新的要求。PZT薄膜因其优良的压电性能、热电性能、......

学位

PZT微粉 PZT薄膜 Sol-Gel 0-3复合法

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