Hf-DLC薄膜相关硕士博士期刊学术论文

本文采用磁控溅射直流和射频共沉积技术,通过掺杂异质元素对类金刚石薄膜(DLC)进行改性。重点研究了不同低含量铪(Hf,<1 at.%)掺杂......