Langmuir双探针相关论文
设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气（体积分数为99.999%）为工作气体,结合汤森放电理论,推导了......
采用Langmuir双探针技术对氩气环境下射频磁控溅射铜薄膜过程中产生的辉光等离子体进行了实时诊断．结果表明，在一定的射频功率下，电子......
阐述了利用Langmuir双探针诊断等离子体参数的基本原理,对圆柱腔中的空气辉光放电等离子体进行了双探针诊断,通过实验测得伏安特性......
应用Langmuir双探针诊断理论，对充有氖气的石英放电管中的辉光放电等离子体进行了诊断，通过实验测得伏安特性曲线，计算得出电子温度和......
研制了一种新的大面积微波等离子体源。由环形波导腔环绕直径３０ｃｍ、高５０ｃｍ耐热玻璃圆筒真空室构成。环形波导内侧开有多个狭缝用来激励产生......
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