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采用脉冲激光淀积技术,在(001)取向的SiO2衬底上制备了LiNbO3薄膜。为了防止淀积过程缺氧,往淀积腔内充入10~15Pa的流动氧气,淀积速度0.3~1.0nm/min,淀积时间1h,淀积结束后,充入......
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