PECVD技术相关论文
面对石油等传统能源即将消耗殆尽和环境污染污染问题,世界各国都在努力开发新能源,其中太阳能是取之不尽的清洁能源,故受到广泛的......
日前，应用材料公司宣布推出全新的PVD和PECVD技术，用于制造下一世代的超高分辨率（UHD）电视以及移动设备的高像素密度屏幕。实现这一重......
基于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,应用高纯硅烷和氮气为反应气体,通过设置氮气流量分别为100sccm、200sccm、300sccm和40......
采用改进的PECVD技术首次制备出六角多型碳化硅纳米晶须.高分辨率电镜观察其直径在2～6 nm之间.长度为0.3 mm～6 mm.拉曼光谱表明它是......
为了研究SiO_xN_y光学薄膜在红外区的应用特性.文中采用PECVD技术沉积折射率为1.60的SiO_xN_y光学薄膜,设计制造了相同制备工艺参......
随着太阳能电池的发展,硅量子点和包埋硅量子点的母体材料的研究仍是现在人们研究的热点话题之一。对硅量子点太阳能电池来说,包埋......
本项研究设计、研制出在物理冶金多晶硅太阳电池表面沉积三层氮化硅薄膜。将PCID太阳电池设计软件模拟筛选出的最优沉积薄膜的工艺......
基于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,以硅烷和高纯氮气作为反应气体源,分别设置射频功率为50,80,110,140,170W和沉积压强为2......
