MEMS（Micro-Electro-Mechanical System,微型机电系统）陀螺仪是一种基于科里奥利力效应的传感器,用于检测物体旋转角速度,是航空航天......

近年来半导体行业迅猛发展使各类电子产品性能得到了质的飞跃,使国防科技力量和人民生活质量都有了很大的提升。虽然国内半导体行......

微机械陀螺作为微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,简称MEMS)传感器中的一个重要分支,其性能随着集成电路工艺的发展不......