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阐述数字微镜技术，基于数字微镜器件的光刻机特性，包括降低掩模成本、减小曝光关键尺寸CD，探讨基于数字微镜器件的光刻机技术应用。......
用传输矩阵法从理论上计算了取样光纤布拉格光栅的反射（传输）谱特性，提出了几种提高其谱特性的调制方案。用取样掩模版一次成栅的方法......
提出了一种利用均匀相位掩模板制作啁啾光纤光栅(FBG)的方法。在对光纤的扫描曝光过程中,相位掩模板沿长度方向周期性抖动,且抖动......
太赫兹成像是太赫兹技术的一个重要分支,在无损检测、安检和生物医学等领域发挥着重要作用。太赫兹探测器是太赫兹成像系统的核心......
本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及......
按照高斯型渐变反射率镜(GRM)的参数要求,采用了中间层厚度渐变的方案对膜系和掩模板形状进行设计.根据薄膜的实际需求和具体的沉......
本文提出一种用一块单极性掩模板表示双极性互连矩阵的偏振编码方法。并用二种非相干光电混合系统分别实现了二阶互连神经网络。最......
概述了国内外长周期光纤光栅的制作方法、长周期光纤光栅温度应力特性和在通信、传感领域内的广泛应用，并且对各种制备工艺进行了比......
分析了体全息存储系统输入器件(空间光调制器)与输出器件(电荷耦合器件)空间相对位置对信号匹配效果的影响,总结了信号输入、输出......
提出一种误差预补偿的方法,调整引起的掩模特征形状以实现光罩图形的轮廓调制,通过数据前期的预补偿,减少失真,从而改善微细直角的......
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该......
借助基于4F成像系统的掩模版模拟SLM实验,在国内首次实现1000×1000高分辨率数据页输入-输出像素一对一匹配的基础上研究了体全息......
