阐述了照明光学系统在分步投影光刻机中的重要作用，介绍了当采用部分相干光照明时相干度对分辨率的影响，以及Ｋｏｈｌｅｒ照明中聚光镜像差对成像......

本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及......

根据点光源和线光源基本模型与光线追迹理论,借助前台开发工具(Visual Basic6.0)和后台开发工具(Microsoft Office Access)开发了......