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阐述了照明光学系统在分步投影光刻机中的重要作用，介绍了当采用部分相干光照明时相干度对分辨率的影响，以及Ｋｏｈｌｅｒ照明中聚光镜像差对成像......
本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及......
根据点光源和线光源基本模型与光线追迹理论,借助前台开发工具(Visual Basic6.0)和后台开发工具(Microsoft Office Access)开发了......
在大功率白光LED出现之前，放映机、投影机采用溴钨灯、金卤灯、氙灯等做为电光源来获得高亮度的方法已经延续了几十年。近几年来，大......
设计了一套照明CAD软件用于实现对光学仪器中照明光路照度分布模拟。对该照明CAD系统的光线追迹与光照度计算方法进行了理论探讨,......
航天飞行器姿态的精确测量和控制是保证航天任务顺利进行的重要环节。航天飞行器的姿态信息由姿态敏感器来获得,星敏感器是当前姿......
为了降低基于硅基液晶拼接的动态星模拟器背景杂散光,对传统的光学引擎进行优化,提出一种多偏振分光棱镜组合方式,并对其光机结构......
极紫外光刻（EUVL）是半导体工业实现32～16nm技术节点的候选技术，而极紫外曝光光学系统是EUVL的核心部件，它主要由照明系统和微缩投影物镜......
四、放映机照明光学系统设计放映机的照明光学系统再加上成像系统就构成了完整的放映光学系统。照明系统是放映机的重要组成部分，它......
