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本文描述了高集成度射频微系统应用环境下,射频微同轴的加工工艺流程,矩形同轴结构特点。从理论上分析了矩形射频微同轴的传输特性和关键指标计算方法,并在HFSS里建立了不同结构的微同轴传输线,进行了对比仿真,分析结果表明微同轴传输线可以做到很好的阻抗匹配。同时,其使用频率可达准太赫兹波段,是很好的微波信号传输结构。