论文部分内容阅读
碳纳米管阴极电离规具有功耗低、响应快、没有热阴极效应等不利因素，有望解决极高真空测量难题.本文利用化学气相沉积技术制备了碳纳米管阵列阴极，系统研究了该阴极的场致収射特性，幵初步研究了该阴极作为电离规电子源时规管的计量学特性.研究表明，碳纳米管阴极具有良好的场致収射特性，能被用作超高真空电离规的电子源；碳纳米管阴极用作IE414 型BA 规电子源时，电离规在2.5×10-5～5.0×10-3 Pa 的压力范围内，离子流和压力成线性关系；在球形振荡器电离规中，离子电流不压力在8.7×10-6～0.01 Pa 的压力范围内呈现线性关系，而在更小的压力范围内，离子流和测试压力线性关系缺失，这主要是因为极小离子流测量误差所致.