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采用射频磁控溅射法制备了在不同工作气压下氮掺杂的Zno薄膜。
对样品的结构性能、发光特性、透射光谱分别进行了检测。研究结果显示：工作气压为0.5Pa时的样品是典型的氮掺杂的ZnO薄膜带隙，禁带中掺杂带隙引起带隙变窄。随着工作气压的下降，掺氮后ZnO薄膜的禁带宽度减小。因此低气压更有利于氧化锌薄膜的氮掺杂。