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本文研制了用于神光-Ⅲ原型装置反射镜架的微驱动组件。采用交流电机和滚珠丝杠的传动方式，设计了直圆式和圆柱错位式两种柔性铰链。通过MSComm 建立上下位机的通信，实现对PLC的集散式控制。在TM5反射镜架上测试，精度达到±0.3μm/step。满足系统设计要求。
高精度大通光口径反射镜架微驱动组件的研究
【摘 要】
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本文研制了用于神光-Ⅲ原型装置反射镜架的微驱动组件。采用交流电机和滚珠丝杠的传动方式，设计了直圆式和圆柱错位式两种柔性铰链。通过MSComm 建立上下位机的通信，实现对PLC
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江省哈尔滨 150001
【出 处】
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全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会
【发表日期】
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2008年期
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