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本文报道了具有低温薄膜工艺特点的非晶硅/晶体硅异质结HIT太阳电池的实验研究结果。电池结构采用TCO/n-a-Si:H/i-a-Si:H/p-c-Si/Al。选用ITO 作减反射膜时，电池的开路电压较高，短路电流较小；而选用ZnO:Al 作减反射膜时，电池的短路电流较大，开路电压较低。以ITO 作减反射膜的太阳电池最高光电转换效率达到8.26﹪(AM1.5，100mWcm-1)。