【摘 要】
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<正>移相干涉术是一种高精度的相位检测技术。该技术利用在干涉光路中引入一个附加的位相(或光程)调制,然后经光电探测器件将干涉图采样并存贮到计算机中,通过一个简单的算法
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<正>移相干涉术是一种高精度的相位检测技术。该技术利用在干涉光路中引入一个附加的位相(或光程)调制,然后经光电探测器件将干涉图采样并存贮到计算机中,通过一个简单的算法,就计算出了每个象素点的位相值。现代移相干涉测量一般以压电陶瓷堆(PZT)作为移相器件,因为它体积小,精度高,易用而且价格相对便宜。当PZT上施加步进电压时就产生相应的伸长量,从而带动装在PZT上
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