【摘 要】
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本文探讨平面显示器TFT-LCD制程监测及面板影像品质相关之计量标准及不确定度分析。TFT-LCD是台湾继半导体产业后，另一项重点产业，然相关制程与成品品质相关检测及追溯系统
【出 处】
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2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会
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本文探讨平面显示器TFT-LCD制程监测及面板影像品质相关之计量标准及不确定度分析。TFT-LCD是台湾继半导体产业后，另一项重点产业，然相关制程与成品品质相关检测及追溯系统并不完整。如Mura系影像色度与亮度不均匀的现象，不只定义不清，检测方法不一，更缺乏具追溯性之检验仪器。本研究探讨(1)面板制程的膜层尺寸检测及光学特性检验，着重误差影响因子探讨及具溯源性 AOI 检测仪器开发；(2)面板关键参数标准溯源(traceability)及计量标准的发展。如灰阶应答时间、Mura缺陷标准、影像品质评价。本研究成果可提升面板品质水准，经由量化评价系统，使高品质面板价值得以彰显，也可以自动化检测仪器，改善现行人工检验效率。
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