【摘 要】
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真空材料种类很多,但能用于真空系统的真空材料却不多。工作温度下,真空材料的静态出气性能对真空系统的设计起到至关重要的作用。因此,对真空材料出气性能进行测试是必要的
【机 构】
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兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室;
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真空材料种类很多,但能用于真空系统的真空材料却不多。工作温度下,真空材料的静态出气性能对真空系统的设计起到至关重要的作用。因此,对真空材料出气性能进行测试是必要的。本文介绍了一套对真空材料出气性能,主要是对真空材料在不同温度下的出气速率和出气成分进行测试的金属系统。该系统的测试室选择不锈钢材料,进行预处理后,系统极限真空优于1×10-5Pa,系统的极限漏放气速率可以达到1×10-8Pa·m3/s。系统的出气成分分析系统采用的是以四级质谱计为主的质谱分析系统,可对质量数在0～200u 的成分进行定性测试分析。目前,该系统已经完成了对国内某厂家生产的交联聚苯乙烯材料常温出气性能的测试,并取得了满意的测试结果。
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