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采用反应磁控溅射和多弧离子镀相结合的方法在高速工具钢基体上沉积了C<,3>N<,4>/TiN 复合超硬薄膜。氮化碳以硬质结晶相存在，复合膜的显微硬度为Hv=35.1-46.7GPa，划痕试验表明，薄膜在高速钢上的附着力达到JB/T8365-96标准。
高速工具钢镀C3N4/TiN复合超硬薄膜
【摘 要】
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采用反应磁控溅射和多弧离子镀相结合的方法在高速工具钢基体上沉积了CN/TiN 复合超硬薄膜。氮化碳以硬质结晶相存在，复合膜的显微硬度为Hv=35.1-46.7GPa，划痕试验表明，薄膜在高
【机 构】
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武汉大学技术物理系(武汉)
【出 处】
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全国生产工程第八届学术大会暨第三届青年学者学术会议
【发表日期】
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1999年期
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