【摘 要】
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基于相移干涉术,研制了一台立式大视场Mirau相移显微干涉仪。显微干涉仪包括干涉成像和照明部分,竖直方向上的压电陶瓷微位移系统,被测面的两维扫描系统,图像采集和处理系统
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院; 光电信息技术科学教育部重点实验室(天津大学);
【基金项目】
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国家自然科学基金(60377031);973计划资助课题(2003CB314907)
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基于相移干涉术,研制了一台立式大视场Mirau相移显微干涉仪。显微干涉仪包括干涉成像和照明部分,竖直方向上的压电陶瓷微位移系统,被测面的两维扫描系统,图像采集和处理系统。显微干涉仪是无限筒长显微镜结构和Mirau干涉结构的叠加。大视场表面形貌通过多孔径扫描拼接实现。单片机串口控制电路控制了电控平移台的精确位移,实现了被测面的两维扫描,最小的横向位移为0.039μm,扩展后的视场达到12.5x12.5mm.测量了光纤连接器端面的表面形貌,仪器的重复测量精度小于2nm.
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