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本文分析了一些计算Cpk不准确的方法,进而提出了正确的优化计算方法,同时阐述Pσ设计,以及其对于成品率,DPMO的相互换算的方法,并且自行开发了相应软件计算Cpk,以及在高计算精度要求下,实现Pσ设计与成品率,DPMO相互间的换算.
集成电路制造工艺的Cpk及6σ水平评价
【摘 要】
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本文分析了一些计算Cpk不准确的方法,进而提出了正确的优化计算方法,同时阐述Pσ设计,以及其对于成品率,DPMO的相互换算的方法,并且自行开发了相应软件计算Cpk,以及在高计算
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院,西安,710071
【出 处】
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中国电子学会可靠性分会第十三届学术年会
【发表日期】
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2006年期
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