透明导电氧化物薄膜的研究进展

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透明导电氧化物(TCO)因同时具有透明和导电的特点,被广泛用作平面显示器、太阳能电池、触摸屏板、热功能窗等的电极。本文结合作者研究小组近年来的科研工作, 分别对 n 型、p 型以及复合多层 TCO 膜的国内外研发情况进行了综述,重点以 ZnO 和 CdIn2O4基材料为例,阐述了 n 型 TCO 薄膜的透明导电机理和发展趋势;以 CuAlO2和 SrCu2O2为例,阐述了 p 型 TCO 难以实现的内在原因、设计原则、制备工艺以及当前国内外研究的性能水平。文章还对 TCO 在光电子器件方面的应用情况进行了归纳总结, 并对 TCO 薄膜材料目前存在的主要问题及发展方向进行了分析讨论。
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