电子背散射衍射技术在金属合金晶粒尺寸和取向表征中的应用

来源 :中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haoxiang123123123
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  装配在SEM上的电子背散射花样(Electron Back-scattering Patterns,简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用,该技术也被称为电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction,简称EBSD).EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射,给出结晶学的数据,能在较短的时间内获得关于样品的大量的晶体学信息.
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