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微电机零件加工和部件组装有多种工艺方法,其中粘接工艺有不可比拟的优越性,在诸多的粘接工艺方案中,各有千秋,文章在多种粘接工艺对比的基础上,推介一种新的粘接工艺方案,即膜状胶粘剂粘接工艺,并预示其应用前景.
微电机粘接工艺新方案
【摘 要】
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微电机零件加工和部件组装有多种工艺方法,其中粘接工艺有不可比拟的优越性,在诸多的粘接工艺方案中,各有千秋,文章在多种粘接工艺对比的基础上,推介一种新的粘接工艺方案,即
【机 构】
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中国电子科技集体公司第二十一研究所,上海200233
【出 处】
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第十八届中国小电机技术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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