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该文研究了硅中氮氧复合物、氮－新施主、氮对热施主（ＴＤ）、新施主（ＮＤ）和氧沉淀的影响，并对实验结果进行了讨论。
直拉硅中氮的行为
【摘 要】
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该文研究了硅中氮氧复合物、氮－新施主、氮对热施主（ＴＤ）、新施主（ＮＤ）和氧沉淀的影响，并对实验结果进行了讨论。
【机 构】
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大学硅材料科学国家重点实验室(杭州)
【出 处】
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第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
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1999年期
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