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固态压阻式动态压力传感器因具有优良动态性能，在爆炸冲击波测量技术中得到重要应用。本文阐述了通过硅片背面溅射薄膜和金扩散两种方法解决爆炸冲击波测量中的光干扰问题。通过电缆线的穿管或埋线接地的敷设安装解决了爆炸反应中负脉冲干扰问题。
超压冲击波测量中的光电热干扰的抑制
【摘 要】
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固态压阻式动态压力传感器因具有优良动态性能，在爆炸冲击波测量技术中得到重要应用。本文阐述了通过硅片背面溅射薄膜和金扩散两种方法解决爆炸冲击波测量中的光干扰问题
【机 构】
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昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏昆山 215325
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2012年期
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