溅射薄膜相关论文
采用飞秒激光诱导击穿光谱(fs-LIBS)技术研究了铜铝合金溅射薄膜的时间分辨等离子体光谱特性。测量了0~1000 ns延时和100~1000 ns......
钎焊是陶瓷材料与自身或与金属、半导体等连接的最主要方法,由于金属熔液难以润湿陶瓷,传统钎焊方法通过在陶瓷钎焊面形成可被金属......
铁电溅射膜可能在集成光学领域内得到应用,尽管大多数波导作用元件以单品结构为基础。众所周知,多晶体或陶瓷材料有明显的电-光效......
该文在设计一系列Si/Cr原子比大于1的Cr-Si系改型溅射用合金靶材的基础上,具体研究靶材合金成分、溅射工艺与溅射膜结构、电学性能......
早在六十年前人们就发现了铁磁丝的电阻抗磁场特性,但直到1994年人们对巨磁阻抗效应(GMI效应)的研究才越来越深入和广泛。最初,人们......
航空涡轴发动机是一种输出轴功率涡轮喷气发动机,是直升机的动力系统。涡轴发动机需要精确控制燃油流量,对压力传感器的输出精度和......
综述了高阻隔性陶瓷包装材料的应用现状、发展进程、镀膜的生产工艺,以及影响其性能的各方面因素,包括基材性能、基材预处理、镀膜......
为了更好地使高阻隔性氧化硅薄膜应用于包装领域,综述了氧化硅包装材料的应用现状、发展进程、镀膜的生产工艺。......
矿用本质安全型压力变送器主要用于煤矿安全生产自动化集中检测与控制。介绍了GPD60矿用本安压力变送器的工作原理和应用情况。......
基于井下随钻测量和大尺寸特制弹性体的特殊性,介绍了溅射薄膜技术在井下扭矩/钻压测量中的应用。通过井下模拟环境适应性试验,证实溅......
采用RF磁控溅射技术,通过改变溅射时间的方式在丝织物基材上沉积纳米银薄膜。采用SEM和AFM对丝纤维表面银薄膜进行表征。采用剥离试......
针对热真空环境下的拉力检测,研制了一种基于薄膜溅射工艺的双冗余拉力传感器。主要对溅射薄膜拉力传感器的弹性体结构和应变电阻......
溅射薄膜压敏芯体是制作薄膜压力传感器的核心敏感器件,测量精度高、长期稳定性好,尤其适合航天、航空等对可靠性、长寿命要求高的......
将4种组织差异较大的钼靶材在同一溅射设备,同一溅射工艺下进行磁控溅射试验,对溅射后的靶材表面及薄膜表面、截面形貌及方阻进行......
介绍了当今深受关注的等离子聚合薄膜的制备技术.其中,重点探讨了在低能通量和高能通量条件下制备等离子聚合物的沉积过程、膜的结......
磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点,成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件......
钌靶在电子信息行业中具有重要的应用价值,我国的钌靶制备技术与国外相比尚存在一定差距。综述了钌提纯中传统提纯工艺和新提纯工......
介绍了高纯铝及其合金的技术特点,分析了其夹渣和气体含量对溅射镀膜的影响。研究表明,高纯铝及合金中的夹渣存在一临界尺寸,只有......
溅射薄膜材料应用很广泛 ,其中薄膜的附着性是影响薄膜材料质量的重要因素 ,膜 /基界面结合强度是制约薄膜材料实际应用的关键之一......
<正> 利用溅射使材料薄膜化的技术在电子器件以及其它方面得到了迅速的发展。这是因为薄膜具有和体材料不同的性质,利用这种性质就......
本文采用氯苯浸泡法对(0.2~2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工......
本文采用氯苯浸泡法对0.2-2.0UM的AL、AU溅射薄膜进行了剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡......