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溅射薄膜压敏芯体是制作薄膜压力传感器的核心敏感器件,测量精度高、长期稳定性好,尤其适合航天、航空等对可靠性、长寿命要求高的军事领域应用。对薄膜压敏芯体制备工艺过程进行分析,探讨影响芯体长期稳定性的原因,针对原因进行工艺改进,可获得高稳定的薄膜压敏芯体。
溅射薄膜压敏芯体长期稳定性研究
【摘 要】
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溅射薄膜压敏芯体是制作薄膜压力传感器的核心敏感器件,测量精度高、长期稳定性好,尤其适合航天、航空等对可靠性、长寿命要求高的军事领域应用。对薄膜压敏芯体制备工艺过程
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,薄膜传感技术湖南省国防科技重点实验室
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2020年4期
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